保证测量准确度
LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可获得可靠的高精度数据。
· 有保证的测量准确度*
· 奥林巴斯享誉世界的光学器件能够以更低像差在整个视场中捕捉样品的真实形貌
· 智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量
*本网页上包括保证的准确度在内的信息基于奥林巴斯设定的条件。
简化材料工程与失效分析实验管理
测试新材料时的实验条件管理具有复杂性，OLS5100激光显微镜的智能实验管理助手（Smart Experiment Manager）可通过关键步骤（如创建实验计划）自动化简化这一过程。
· 提升30％的速度加快完成测量任务 *
· 扫描计划随数据采集自动生成
· 无需花费时间转录数据，软件为您自动完成
*与OLS5000相比
自动数据输入
软件会自动将值添加到实验计划矩阵中，以尽可能减少输入错误的可能。只需点击几下鼠标，就可以将实验数据导出到Excel电子表格。
简捷的实验条件数据管理
通过点击实验计划中的每个单元格，软件即可自动生成包含评估条件的文件名，从而方便保存记录。每个文件均包含相关联的图像和数据。
全方位数据采集
显微镜根据软件生成的实验计划扫描样品，不会让您丢失数据或重复工作。
轻松发现问题
彩色 图谱可帮助您了解实验数据并验证是否存在数据丢失和错误。如果存在问题，您可以尽早发现并解决。
主机
型号
| OLS5100-SAF
| OLS5100-SMF
| OLS5100-LAF
| OLS5100-EAF
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总倍率
| 54x–17,280x
|
视场
| 16 µm–5,120 µm
|
测量原理
| 光学系统
| 反射式共焦激光扫描激光显微镜 反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 颜色 彩色DIC |
光接收元件
| 激光：光电倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相机 |
高度测量
| 显示分辨率
| 0.5 nm
|
动态范围
| 16位
|
重复性σn -1*1 *2 *5
| 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm
|
准确度*1 *3 *5
| 0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]）
|
拼接图像准确度*1 *3 *5
| 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])
|
测量噪声（Sq噪声）*1 *4 *5
| 1 nm（典型值）
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宽度测量
| 显示分辨率
| 1 nm
|
重复性3σn-1 *1 *2 *5
| 5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm
|
准确度*1 *3 *5
| 测量值+/- 1.5%
|
拼接图像准确度*1 *3 *5
| 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度[mm]）
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单次测量时*大测量点数量
| 4096 × 4096像素
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*大测量点数量
| 3600万像素
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XY载物台配置
| 长度测量模块
| •
| 不适用
| 不适用
| •
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工作范围
| 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动
| 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动
| 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动
| 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动
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激光光源
| 波长
| 405 nm
|
*大输出
| 0.95 mW
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激光等级
| 2级（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
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彩色光源
| 白光LED
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电气功率
| 240 W
| 240 W
| 278 W
| 240 W
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质量
| 显微镜主体
| 约 31 kg
| 约 32 kg
| 约 50 kg
| 约 43 kg
|
控制箱
| 约 12 kg
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